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双级旋片式真空泵的工作原理
时间:2015-07-21 13:33 编辑:65体育平台
  双级旋片式真空泵由两个工作室组成。两室前后串联, 同向等速旋转。I室是n室的前级,I室是低真空级, n室是较高真空级。被抽气体由进气管道进入n室。 当进人气体压强较高时,气体经n室压缩,压强急增,被压缩的气体除经通道2进入I室外,还能推开排气阀1,从排气阀1排出。 当进人n室的气体压强较低时,虽经n室的压缩,也推不开排气阀1,气体全部经通道2进入I室,经I室的继续压缩,由排气阀3排出。因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真 空泵的极限真空高。

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  双级旋片式真空泵

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